準分子激光精密加工系統


產品描述

該準分子激光精密加工系統是以紫外、深紫外波段激光配合定制化的光路整形系統,可應用于較多領域。

產品特點

  • 激光器穩定、壽命長
  • 加工精度高
  • 高精度運動平臺
  • 平頂均勻分布光斑
  • 適合多種半導體工藝
  • 高度自動化集成

系統參數

波長 193nm、248nm、355nm
功率 60w
重復頻率 200Hz
系統精度 ±3μm

產品應用

  • LED/OLED wafer劃線/燒蝕/剝離
  • 生物醫學微電路加工
  • 聚合物噴墨嘴加工
  • 陶瓷微流器件加工
  • 太陽能電池薄膜加工

樣品展示

  • 材料:LED & OLED面板
  • 加工速度:>150mm/s
  • 用途:晶圓切割、劃線、剝離、燒蝕

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